氦检漏仪，也称为质谱检漏仪（MSLD），用于定位和测量进入或离开系统或容器设备的泄漏。将示踪气体氦气引入与检漏仪连接的测试部分。氦气通过测试部件泄漏进入系统，测量分压并显示在压力表上。

氦检漏仪由以下几部分组成：。

1. 用于检测氦质量的光谱仪。

2. 用于维持分光计压力的真空系统。

3. 用于抽真空待测部件的机械泵。

4. 支持各种测试阶段的阀门:抽真空，测试和排气。

5. 放大器和读出仪器，用于监测输出信号。

6. 电源和控制。

7. 将待测零件连接到检测器的夹具上。

       气密封性能测试仪将根据压差的变化来测量工件的比泄漏量，进而判断被测工件是否合格，并将信息传送给操作人员。由于标准产品和被测工件的形状、尺寸相同，在测试过程中两端的外部环境条件完全相同，这种测试方法可以消除温度、振动等环境因素的影响，获得高精度的测量结果。差压式密闭仪表与直压式检测操作过程的不同，主要是在相同的工艺和状态条件下，以“标准品”为参照。

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